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低温真空泵的选型技术
低温真空泵是低用低温（低于100K）表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。它有很多优点：
①起始压力高（原则上可从大气压开始抽气），极限压力低，可达10﹣13Pa，因此，其工作范围压力宽；
②抽速大，对于20℃空气，更大抽速可达11.6L（s·cm²）；
③可以抽除各种气体，从而获得清洁的超高真空；
④作为大容量的排气系统，占地面积小，电力消耗少；
⑤有极大的灵活性，可以做成插入式，用于无法布置其他类型泵的场合。低温真空泵运行时需要冷剂或制冷设备。
低温真空泵的应用范围非常广泛：
①在空间科学技术中，宇宙空间存在着真空和低温状态，外层空间的真空度可达10﹣14Pa，温度为3K左右。因此，低温真空是宇宙空间模拟的理想设备。此外，研究空间条件下材料表面现象，低压空气动力学试验，火箭发动机高空点火试验，空间生物技术等，都用低温真空泵。
②应用在高能物理、等离子体和核聚变研究中。
③应用在薄膜制备领域。
④应用在微电子学，尤其是半导体微电子技术，如离子注入，离子刻蚀等。
⑤应用在近代科学仪器中，如扫描电镜、电子衍射仪等各种分析仪器。
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2017-12-07
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