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真空泵在我们的日常生活和工作中是极为常见的。干式螺杆真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。我们今天介绍下我们的德耐尔干式螺杆真空泵。
工作原理
螺杆真空泵利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转，进而产生吸气和排气作用。两螺杆经精细动平衡校正，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪声低，工作腔无需润滑油。
①主动转子 ②从动转子 ③吸气腔 ④运送腔 ⑤排气腔
性能优势
·节能：功耗比同类产品降低20%以上；
·可靠：干式结构泵腔，机械变容压缩，实现稳定的工艺真空；
·环保：零污水排放，无环保压力，节省污水处理费用；
·增效：不污染溶剂，便于回收溶剂，增加效益；
·易维护：无需做特别的维护，基本无维修费用，省事、省心；
·冷却：水量比同类产品节约90%以上，且对冷却温度要求不苛刻；
·防腐：可选用镍磷、哈氏合金等涂层或选配钛合金等整体材质。
等螺距真空泵
·国家专利(ZL 201921451548.2)；
·粗抽效率高，可以稳定运行于粗真空工况，极大扩展了工作压力范围；
·无内压缩，泵温高，适宜抽速易凝结、易结晶的气体；
·转子间隙大，固体粉尘与冷凝液不易在转子间和泵腔内沉积。
·国家专利（ZL 201921451576.4）；
·气体返流小，消耗功率低，更节能；
·排气温度以及工作温度低，适宜抽除易燃易爆，易结焦的气体；
·排气反冲的气体量少，从根本上降低了泵的运行温度和噪音。
选配件示意图
1.气动蝶阀 2.螺杆真空泵 3.过滤器 4.气液分离器 5.储液筒 6.消音器 7.调压表
·选配1 氮气吹扫结构
·选配2 排气消音结构
·选配3 溶剂冲洗结构
性能特点
1、洁净真空
工作腔内无润滑油，零污染；工艺气体回收利用率高；尾气处理方便，降低使用安全风险和运行成本；
2、冷却性能
采用夹套冷却，使用少量冷却循环水，即可稳定的运行；
3、使用工况
宜抽取可凝性、腐蚀性、易燃易爆、易结晶、易凝固等气体，适用于各种恶劣的工况；
4、稳定可靠
多级螺旋式转子，取消中隔板结构，无中间级吸排气过程，工作过程简单、连续、效率高；
5、易维护
转子无接触、无磨损，结构简单，零件少，维护方便，整机寿命长；
6、适应性强
进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，可与罗茨泵、分子泵等组合，可作为前级泵使用，抽气效率高。
应用行业
1、化工2、制药 3、锂电池 4、冶金系统5、镀膜 6、新能源 7、光伏 8、汽车9、香料 10、航空航天 11、科研院所 12、半导体
德耐尔股份业务
动式空压机、往复式压缩机、工业真空泵、空气源热泵等七大工业气体应用领域
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2023-04-07
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