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随着社会科学技术的发展，越来越多的行业对清洁真空、环保等方面提出了严格的要求，以避免回油泄漏污染，因此无油真空泵得到了迅速的发展。由于起步较晚，许多企业用户只使用爪式真空泵和螺杆泵等上。事实上，无油真空泵涉及的不止这些类型。
当谈到无油真空泵时，先提到的是爪式真空泵。它是为电子半导体工业开发的干式真空泵。它能满足洁净真空的需要，具有高效的自动启闭阀门的作用，又很高的效率。
然后是螺杆泵，螺杆泵和爪式真空泵都是非接触式无油真空泵，泵腔中不含油、水等物质，转子之间存在间隙，对颗粒物质和凝析气体具有一耐受性。同时，与爪形真空泵相比，由于没有相似的阀门结构，效率较低，但其气道通畅，转子结构简单，适应性较好，分别具有优势。
涡旋真空泵的开发和生产主要集中在美国、日本和英国，因此许多国内企业不了解这个无油真空泵。广泛应用于分析仪器、半导体芯片生产线、科研设备、分子泵的前置泵和小型低温泵。
根真空泵罗茨真空泵种类繁多，如湿式真空泵、干式真空泵、直排真空泵、普通真空泵、多级真空泵等，引起了一些用户对一的误解。事实上，中、高真空用机械增压泵和多级罗茨泵都是无油真空泵，抽油量大，应用广泛。
无油旋转叶片真空泵和无油活塞真空泵（往复式泵）。普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵虽然在泵腔内有油介质，但也可以利用自润滑材料实现无油运行，成为无油真空泵。另外，隔膜真空泵在往复泵中也没有油型。
涡轮分子泵。它是一型原用于超高真空的无油真空泵。随着高出口压力、高流量的发展，其应用范围逐渐向中高真空领域发展。
以上是目前常见的无油真空泵，除此之外，还有低温泵、吸附泵等能够实现清洁无油真空环境的气体捕集泵，但它们通常不被包括在无油真空泵中，所以这里就不在一一列举了。
无油真空泵就介绍到这里了，祝您生活愉快~
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作者:德耐尔@德耐尔空压机 空压机修订日期：2019-11-30
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